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深圳海德隆UV光解技术问答

平四针光清洗灯

作者:深圳市海德隆光电科技有限公司 浏览: 发表时间:2021-06-02 21:45:40

常用55W-65W,灯管管体长380mm-450mm,管径15mm,灯头2G11。

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紫外臭氧清洗(UV/O3 Cleaning)过程提供一种简单,经济,快速获得超洁净的表面,去除大多数无机基材(比如石英,硅片,金,镍,铝,砷化镓,氧化铝等)上的有机污染物,如皮肤油脂,有机硅油和油脂,助焊剂,残留的光刻胶,胶水溶剂,碳等。特别是当基材和薄膜蒸镀需要很好的粘接时,紫外清洗非常理想。获得超洁净的表面,只需要在传统清洗后,再用紫外臭氧清洗1到几分钟就可以啦。

紫外臭氧清洗工作原理:清洗设备的核心是低压石英汞灯,产生254和185nm范围的紫外线。臭氧和等离子氧气产生,有机污染物分子在吸收254nm波长紫外线后被激发或分解。激发的有机污染物可以和离子氧原子反应形成气体,比如CO2、H2O等。整个过程在室温发生,并且只需要1到几分钟完成。

注1:白色氧化铝暴露在UV能量下会变黄。这种现象是由于基材吸收UV能量,而不是一种涂层。这种氧化铝在加热情况下会转化为他原来的颜色。
注2:清洗元件温度的上升取决清洗过程的时间长度。在大多数应用,元件温度可以视为室温。


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